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Virtuelle Messtechnik, d.h. die Vorhersage von Werkstückeigenschaften mittels Maschinen- und Prozessparameter-Daten, ist in der Halbleiterfertigung gängige Praxis geworden. Diese digitalen Prozesszwillinge neigen jedoch dazu, quantitativ ungenau zu sein. Mitunter dekalibrieren sie im Laufe der Zeit, insbesondere wenn Umgebungsbedingungen schwer zu kontrollieren sind oder die Einflüsse selbst unbekannt sind. In diesem Vortrag präsentieren wir einen generischen Closed-Loop-Ansatz der zeigt, wie man physikalische und virtuelle Messtechnik kombiniert, um die Grenzen der Präzisionsfertigung in puncto Genauigkeit zu verschieben. Dem Endziel der autonomen Produktion folgend können damit Prozessanlauf- und Zykluszeiten massiv reduziert werden. Der Automatisierungsgrad wird erhöht und Prozesszwillinge können in andere Setups überführt werden.

Der OPC-UA Standard eignet sich hervorragend für die Erstellung einer maschinenorientierten Kommunikation mit einem Softwaresystem. Im Vortrag wird ein Projekt präsentiert, in dem eine generische konfigurierbare Simulation der Schnittstellen für Client und Server bereitgestellt wurde. Dies ermöglicht es, Kommunikationspartnern mit minimalem Aufwand unterschiedliche Verhaltensweisen bereitzustellen, die als Gegenstücke vor einer realen Implementierung verwendet werden. Durch die Integration des Simulators in QA-Prozesse können alle möglichen Fehlerfälle getestet werden, ohne dass eine echte Maschine zur Verfügung stehen muss. Auf diese Weise werden viele Fehler vor der eigentlichen Integration in den Entwicklungsprozess erkannt.