ZEISS XENOS

XENOS von ZEISS verfügt über zwei Linearantriebe in Y-Richtung, die über eine von ZEISS neu entwickelte Technik synchronisiert werden: den virtuellen Zentralantrieb. Er sorgt für eine optimale Kraftverteilung der Antriebe, abhängig von der Position der X-Achse.

Dies wird durch neueste Controller und Algorithmusgenerationen ermöglicht. Sie ist ein wesentlicher Baustein für höchste Genauigkeit und höchstmögliche Bahntreue im gesamten Messvolumen.

Zum Antrieb aller Achsen werden bei ZEISS XENOS Linearantriebe eingesetzt. Die Vorteile: hohe Geschwindigkeit, sehr hohe Beschleunigung, hohe Positioniergenauigkeit sowie querkraftfreies Antreiben. Im Zusammenspiel mit hochauflösenden Maßstäben bewirkt der Einsatz von Linearantrieben bei ZEISS XENOS eine hohe Bahntreue und eine extrem gute Positioniergenauigkeit deutlich unterhalb von 100 Nanometern.

Beispielsweise wird dadurch die Taststiftauslenkung beim schnellen Scannen konstanter gehalten, wodurch eine höhere Genauigkeit erzielt wird. Ein weiterer Vorteil zeigt sich beim Messen von gekrümmten Flächen: Je sicherer und genauer der Taster der vorgegebenen Bahn folgt, umso exakter können Abweichungen ermittelt werden. 

Für die genauigkeitsrelevanten Teile der Maschinenstruktur kommt bei ZEISS XENOS eine innovative Siliziumkarbidkeramik zum Einsatz. Der Werkstoff wurde bisher kaum in einer vergleichbaren Bauteilgröße und Genauigkeit verarbeitet.

Im Gegensatz zu einer üblichen Aluminiumoxidkeramik bietet die Siliziumkarbidkeramik eine rund 50 % geringere Wärmeausdehnung, eine bis zu 30 % höhere Steifigkeit und ein 20 % geringeres Gewicht. Im Vergleich zu Stahl liefert sie die doppelte Steifigkeit bei halbem Gewicht.