ZEISS Crossbeam

Angesichts der höheren Fertigungsqualität und modernster Technologien zur Oberflächenbearbeitung sind Defekte heute kleiner und seltener. Aus diesem Grund müssen Mikroskopie­verfahren eingesetzt werden, um Oberflächendefekte zu finden, zu lokalisieren, zu präparieren, zu untersuchen und ihre Ursachen zu bestimmen. In diesem Beispiel wird ein korrelativer Ansatz zur effizienten mikroskopischen Untersuchung bei der Defektanalyse vorgestellt.

Dabei werden Aufgaben der Lichtmikroskopie mit dem Digitalmikroskop ZEISS Smartzoom 5 und die Präparation und Untersuchung mit ZEISS Crossbeam laser durchgeführt. Die Korrelation beider Systeme zur präzisen Fehlerlokalisierung im FIB-REM erfolgt über ZEISS ZEN Connect.

Die Suche nach der Ursache vereinzelter und kleiner Defekte auf großen Proben kann viel Zeit in Anspruch nehmen. Um bei der Defektanalyse dennoch effizient zu bleiben, benötigen Sie einen Workflow, mit dem sich Bildbereiche komfortabel lokalisieren, dokumentieren, wiederauffinden, präparieren und untersuchen lassen.

Rasterelektronenmikroskope mit einem fokussierten Ionenstrahl (FIB-REM) überwinden die Grenzen der konventionellen materialografischen Probenpräparation. Da Elektronenmikroskope jedoch typischerweise über ein recht enges Sehfeld verfügen, ist es manchmal einfacher, den Lokalisierungsschritt an einem Lichtmikroskop durchzuführen. Aus diesem Grund benötigen Benutzer ein System, mit dem sie im Lichtmikroskop den Bildbereich lokalisieren und im FIB-REM dann wiederauffinden können.

Genau das bietet die Softwarelösung ZEISS ZEN Connect in Kombination mit ZEISS ZEN Data Storage. Der neue Femto­sekundenlaser der ZEISS Crossbeam Produktfamilie ermöglicht zudem die punktgenaue Präparation auch über große Bereiche. Durch die Querschnitt­erstellung mit dem Femtosekunden­laser, dem Polieren durch einen FIB und der anschließenden EDX-Analyse, konnten Reste von Kohlenstofffasern als Ursache für die Oberflächendefekte ausgemacht werden.

Durch diese Form von korrelativer Mikro­skopie können auch mehrere Bildbereiche hintereinander ganz effizient untersucht werden. Sämtliche Ergebnisse werden anschließend in einem gemeinsamen Projekt gespeichert. Mit der Softwareoption ZEISS ZEN Data Storage können Sie jederzeit vollständig auf diese Daten zugreifen und erneut für weitere Untersuchungen oder Berichte heranziehen.