![Semiconductor Manufacturing Optics Ein Mitarbeiter arbeitet an einem EUV-Beleuchtungssystem der ZEISS SMT]({"xsmall":"https://www.zeiss.de/content/dam/smt/products/smo/overview-smo/semiconductor-manufacturing-optics.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.100.100.334,0,1667,1333.file/semiconductor-manufacturing-optics.jpg","small":"https://www.zeiss.de/content/dam/smt/products/smo/overview-smo/semiconductor-manufacturing-optics.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.360.360.334,0,1667,1333.file/semiconductor-manufacturing-optics.jpg","medium":"https://www.zeiss.de/content/dam/smt/products/smo/overview-smo/semiconductor-manufacturing-optics.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.768.768.334,0,1667,1333.file/semiconductor-manufacturing-optics.jpg","large":"https://www.zeiss.de/content/dam/smt/products/smo/overview-smo/semiconductor-manufacturing-optics.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.1024.1024.334,0,1667,1333.file/semiconductor-manufacturing-optics.jpg","xlarge":"https://www.zeiss.de/content/dam/smt/products/smo/overview-smo/semiconductor-manufacturing-optics.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.1280.1280.334,0,1667,1333.file/semiconductor-manufacturing-optics.jpg","xxlarge":"https://www.zeiss.de/content/dam/smt/products/smo/overview-smo/semiconductor-manufacturing-optics.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.1333.1333.334,0,1667,1333.file/semiconductor-manufacturing-optics.jpg","max":"https://www.zeiss.de/content/dam/smt/products/smo/overview-smo/semiconductor-manufacturing-optics.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.1333.1333.334,0,1667,1333.file/semiconductor-manufacturing-optics.jpg"})
Halbleiterfertigungsoptiken
Optiksysteme für das Licht der Zukunft
Ohne Optiken keine Lithographie. Ohne Lithographie keine Halbleiter. Ohne Halbleiter keine Mikrochips, ohne Mikrochips keine Computer – keine Hightechprodukte. ZEISS befähigt als OEM-Lieferant (Original Equipment Manufacturer) die Halbleiterindustrie weltweit mit Optiken und weiteren optischen Modulen.
Zahlen, Daten, Fakten
Optics Modules
Optische Komponenten und Module
![Optiksysteme von ZEISS SMT Mitarbeiterin arbeitet an einem Optiksystem von ZEISS SMT]({"xsmall":"https://www.zeiss.de/content/dam/smt/products/smo/overview-smo/optikkomponente-om-smt.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.100.100.0,0,854,854.file/optikkomponente-om-smt.jpg","small":"https://www.zeiss.de/content/dam/smt/products/smo/overview-smo/optikkomponente-om-smt.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.360.360.0,0,854,854.file/optikkomponente-om-smt.jpg","medium":"https://www.zeiss.de/content/dam/smt/products/smo/overview-smo/optikkomponente-om-smt.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.768.768.0,0,854,854.file/optikkomponente-om-smt.jpg","large":"https://www.zeiss.de/content/dam/smt/products/smo/overview-smo/optikkomponente-om-smt.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.854.854.0,0,854,854.file/optikkomponente-om-smt.jpg","xlarge":"https://www.zeiss.de/content/dam/smt/products/smo/overview-smo/optikkomponente-om-smt.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.854.854.0,0,854,854.file/optikkomponente-om-smt.jpg","xxlarge":"https://www.zeiss.de/content/dam/smt/products/smo/overview-smo/optikkomponente-om-smt.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.854.854.0,0,854,854.file/optikkomponente-om-smt.jpg","max":"https://www.zeiss.de/content/dam/smt/products/smo/overview-smo/optikkomponente-om-smt.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.854.854.0,0,854,854.file/optikkomponente-om-smt.jpg"})
Laserkomponenten und -module
DUV-Lithographie-Laser arbeiten mit hohen Lichtintensitäten und sehr geringen Wellenlängen von 193 und 248 Nanometern. Das Portfolio von ZEISS SMT umfasst Kalziumfluoridkomponenten, Messmodule (Metrologiemodule) für Excimerlaser und Module zur Bandbreitenreduktion.
![Optiksysteme von ZEISS SMT Mitarbeiterin arbeitet an einem Optiksystem von ZEISS SMT]({"xsmall":"https://www.zeiss.de/content/dam/smt/products/smo/overview-smo/waferinspektion-laserquellen-smt-om.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.100.100.336,0,1669,1333.file/waferinspektion-laserquellen-smt-om.jpg","small":"https://www.zeiss.de/content/dam/smt/products/smo/overview-smo/waferinspektion-laserquellen-smt-om.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.360.360.336,0,1669,1333.file/waferinspektion-laserquellen-smt-om.jpg","medium":"https://www.zeiss.de/content/dam/smt/products/smo/overview-smo/waferinspektion-laserquellen-smt-om.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.768.768.336,0,1669,1333.file/waferinspektion-laserquellen-smt-om.jpg","large":"https://www.zeiss.de/content/dam/smt/products/smo/overview-smo/waferinspektion-laserquellen-smt-om.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.1024.1024.336,0,1669,1333.file/waferinspektion-laserquellen-smt-om.jpg","xlarge":"https://www.zeiss.de/content/dam/smt/products/smo/overview-smo/waferinspektion-laserquellen-smt-om.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.1280.1280.336,0,1669,1333.file/waferinspektion-laserquellen-smt-om.jpg","xxlarge":"https://www.zeiss.de/content/dam/smt/products/smo/overview-smo/waferinspektion-laserquellen-smt-om.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.1333.1333.336,0,1669,1333.file/waferinspektion-laserquellen-smt-om.jpg","max":"https://www.zeiss.de/content/dam/smt/products/smo/overview-smo/waferinspektion-laserquellen-smt-om.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.1333.1333.336,0,1669,1333.file/waferinspektion-laserquellen-smt-om.jpg"})
Optiken und Komponenten für die Waferinspektion
Wenn Mikrochips immer kleiner, kompakter und damit auch komplexer werden, dann steigen auch die Anforderungen an die Qualitäts- und Defektkontrolle. ZEISS fertigt für die automatische optische Waferinspektion und Prozessüberwachung Optiken für spezielle Mikroskope (kein Vertrieb in Deutschland).
![Publikationen ZEISS SMT Mann sitzt am Küchentisch und liest Publikationen der ZEISS SMT auf seinem Tablet]({"xsmall":"https://www.zeiss.de/content/dam/smt/products/smo/overview-smo/publications-lithographie-smt-zeiss-smo.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.100.100.531,0,1865,1334.file/publications-lithographie-smt-zeiss-smo.jpg","small":"https://www.zeiss.de/content/dam/smt/products/smo/overview-smo/publications-lithographie-smt-zeiss-smo.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.360.360.531,0,1865,1334.file/publications-lithographie-smt-zeiss-smo.jpg","medium":"https://www.zeiss.de/content/dam/smt/products/smo/overview-smo/publications-lithographie-smt-zeiss-smo.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.768.768.531,0,1865,1334.file/publications-lithographie-smt-zeiss-smo.jpg","large":"https://www.zeiss.de/content/dam/smt/products/smo/overview-smo/publications-lithographie-smt-zeiss-smo.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.1024.1024.531,0,1865,1334.file/publications-lithographie-smt-zeiss-smo.jpg","xlarge":"https://www.zeiss.de/content/dam/smt/products/smo/overview-smo/publications-lithographie-smt-zeiss-smo.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.1280.1280.531,0,1865,1334.file/publications-lithographie-smt-zeiss-smo.jpg","xxlarge":"https://www.zeiss.de/content/dam/smt/products/smo/overview-smo/publications-lithographie-smt-zeiss-smo.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.1334.1334.531,0,1865,1334.file/publications-lithographie-smt-zeiss-smo.jpg","max":"https://www.zeiss.de/content/dam/smt/products/smo/overview-smo/publications-lithographie-smt-zeiss-smo.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.1334.1334.531,0,1865,1334.file/publications-lithographie-smt-zeiss-smo.jpg"})
Publikationen & Vorträge
Einblick in unsere Forschung
Regelmäßig publizieren wir Fachartikel und Vorträge zu unserer Forschung und Entwicklung.