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30 Jahre AIMS® – der Industriestandard für die Maskenqualifizierung
12. Dezember 2023
5 Min.
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![Ein Mitarbeiter arbeitet im Reinraum am AIMS® EUV-System der ZEISS SMT]({"xsmall":"https://www.zeiss.de/content/dam/smt/smt-magazin/30-jahre-aims/aims-euv-photomasken-technologie-zeiss-smt.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.100.56.0,70,2182,1298.file/aims-euv-photomasken-technologie-zeiss-smt.jpg","small":"https://www.zeiss.de/content/dam/smt/smt-magazin/30-jahre-aims/aims-euv-photomasken-technologie-zeiss-smt.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.360.203.0,70,2182,1298.file/aims-euv-photomasken-technologie-zeiss-smt.jpg","medium":"https://www.zeiss.de/content/dam/smt/smt-magazin/30-jahre-aims/aims-euv-photomasken-technologie-zeiss-smt.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.768.432.0,70,2182,1298.file/aims-euv-photomasken-technologie-zeiss-smt.jpg","large":"https://www.zeiss.de/content/dam/smt/smt-magazin/30-jahre-aims/aims-euv-photomasken-technologie-zeiss-smt.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.1024.576.0,70,2182,1298.file/aims-euv-photomasken-technologie-zeiss-smt.jpg","xlarge":"https://www.zeiss.de/content/dam/smt/smt-magazin/30-jahre-aims/aims-euv-photomasken-technologie-zeiss-smt.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.1280.720.0,70,2182,1298.file/aims-euv-photomasken-technologie-zeiss-smt.jpg","xxlarge":"https://www.zeiss.de/content/dam/smt/smt-magazin/30-jahre-aims/aims-euv-photomasken-technologie-zeiss-smt.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.1440.810.0,70,2182,1298.file/aims-euv-photomasken-technologie-zeiss-smt.jpg","max":"https://www.zeiss.de/content/dam/smt/smt-magazin/30-jahre-aims/aims-euv-photomasken-technologie-zeiss-smt.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.1920.1080.0,70,2182,1298.file/aims-euv-photomasken-technologie-zeiss-smt.jpg"} "30 Jahre AIMS® EUV")