SMT Magazin

ZEISS macht Schule: 3. Autumn School 2021

8. Dezember 2021 4 Min. Lesedauer

Im Oktober 2021 ging die dritte ZEISS European Autumn School mit rund 60 Teilnehmenden über die virtuelle Bühne. Themen des digitalen Events waren vor allem der aktuelle Stand der EUV-Technologie sowie der Austausch von Forschenden und Anwendern, von Lehrenden und Lernenden.

Hightech für Menschen

Als Technologieführer im Bereich Lithographie-Optik teilt ZEISS Know-how und Erfahrung mit Wissenschaftlern, industriellen Anwendern und nicht zuletzt auch mit dem akademischen Nachwuchs. Wie die Autumn School beweist, profitieren dabei alle Beteiligten. ZEISS präsentiert sich dem Markt, im Gegenzug lernen die Teilnehmenden viel über neue Technologien sowie über einen möglichen Arbeitgeber. Einige der früheren Teilnehmenden arbeiten inzwischen bei ZEISS Semiconductor Manufacturing Technology (SMT). Die Autumn School leistet damit auch einen Beitrag, dass die SMT mit klugen Köpfen weiter wächst.

Mit gutem Beispiel voran

Die dritte European Autumn School war – wie im Vorjahr – wieder ein digitales Ereignis. Was durchaus Vor- und Nachteile hat: Ohne die Beschränkungen einer Präsenzveranstaltung boten sich den rund 60 Teilnehmenden faszinierende multimediale Einblicke in die Welt der Lithographie-Optik. Thematisch hat ZEISS ein breites Themenportfolio angeboten. Es reichte von Basis-Informationen über Lithographie-Optiken bis hin zu aktuellen Forschungsergebnissen in einzelnen optischen Spezialgebieten. Die virtuellen Besucher konnten an zwei Tagen aus dem Programmangebot individuelle Schwerpunkte setzen. Interaktive Kommunikations-Kanäle haben den direkten menschlichen Kontakt bestmöglich ersetzt. So konnten sich die Teilnehmenden direkt mit den Vortragenden austauschen, Fragen stellen und unterschiedliche Themen im Chat diskutieren.

Blick auf Expertenvortrag bei der Herbstschule 2021

Expertenvorträge rund um Lithographie

Das zweitägige Online-Event wurde von Dr. Gerhard Döll eingeleitet und moderiert, dem Verantwortlichen für Förderprojekte bei ZEISS SMT. Ich durfte den Vortragsreigen eröffnen mit einer Vorstellung von ZEISS im Allgemeinen und der Sparte Semiconductor Manufacturing Technology im Besonderen. Danach folgten die Online-Seminare – jeweils drei pro Tag. Gleich zu Beginn kamen zwei Top-Experten zu Wort: Bernd Geh, Senior Prinicipal bei ZEISS SMT, erläuterte die Photolithographie als Schlüsselelement für Mikro- und Nano-Elektronik. Sein Vortrag ist hier abrufbar.

Ihm folgte Dr. Jörg Petschulat, Leiter Global R&D der strategischen Geschäftseinheit Semiconductor Mask Solutions. Er präsentierte den Prozess der Maskenherstellung und -qualifizierung und erklärte die Herausforderungen an die Photomasken-Industrie. Den Abschluss des ersten Tages übernahm der Program Systems Engineer Dr. Wolfgang Emer mit seinem Vortrag über die Grundlagen der DUV-Lithographie (Deep Ultraviolet). Thematische Schwerpunkte waren dabei Projektionsoptiken und Beleuchtungssysteme, deren Herstellungs- und Qualifizierungsprozess sowie die Integration in den Scanner.

Mitarbeiter der ZEISS SMT im Reinraum am EUV - Produkt

Reger Austausch

Dr. Sascha Migura leitete den Donnerstag ein, mit einem lebhaft diskutierten Vortrag über Kernfragen der Extreme Ultraviolet Lithography (EUV). Er betonte dabei die enorme Komplexität der EUV-Systeme und erläuterte die technischen Pionierleistungen der SMT. Seine Präsentation ist hier als Video verfügbar. Einen Ausblick in die Zukunft ermöglichte Dr. Paul Gräupner mit dem Vortrag „High-NA EUV – the Future of Extreme Ultraviolet Lithography Optics“. Den sechsten und insgesamt letzten Vortrag hielt Stefan Schulte, Principal Optics Metrology, mit einem Einblick in die SMT-Messtechnik. Er präsentierte die von ZEISS entwickelten und gefertigten hochpräzisen Techniken zur Messung von Einzellinsen und -spiegeln.

Europa zu Gast in Oberkochen

Insgesamt kamen die Teilnehmenden aus 24 unterschiedlichen Ländern. Damit spiegelt die dritte ZEISS European Autumn School die europäische Bedeutung der Halbleitersparte SMT von ZEISS. Entsprechend wurde das Event durch das Important Project of Common European Interest (IPCEI) zur Förderung der europäischen Mikroelektronikindustrie unterstützt. So stellt sich ZEISS auch in den Dienst des europäischen Know-how-Transfers in einer digitalen Schlüsselindustrie.

Beispielhafte Begeisterung

Die Reaktionen der Teilnehmenden waren überaus positiv: „Durch die thematische Bandbreite ist die Autumn School eine gute Gelegenheit für Einsteiger, die Grundlagen der Lithographie zu lernen. Gleichzeitig können aber auch erfahrene Anwender hier noch Neues entdecken”, meldet einer der Teilnehmenden. Ein weiterer ergänzte kurz und knapp: „Tolle Vorträge mit Praxisbeispielen aus der Industrie”. Und ein Dritter brachte es folgendermaßen auf den Punkt: „Die Autumn School war eine großartige Möglichkeit, mein Lithographie-Wissen aufzufrischen. Darüber hinaus wollte ich die ZEISS Sparte SMT in Oberkochen als potenziellen Arbeitgeber besser kennenlernen. Ich freue mich schon auf das nächste Mal.“

Apropos nächstes Mal: Die vierte ZEISS European Autumn School ist schon in Planung. Und 2022 hoffentlich wieder als Präsenzveranstaltung.