ZEISS Semiconductor Manufacturing Technology Mit Präzision für die Zukunft

SMT steht für Semiconductor Manufacturing Technology, die Halbleitersparte des Technologieunternehmens ZEISS. Wir entwickeln und produzieren Ausrüstung für die Herstellung von Mikrochips, stellen aber selbst keine Chips her. Vielmehr ermöglichen wir Chipherstellern auf der ganzen Welt dank präzisester Optiken sowie Systemen für die Reparatur von Photomasken und Prozesskontrolllösungen, immer kleinere, leistungsfähigere und energieeffizientere Chips zu produzieren. Damit sind wir die Möglichmacher unseres digitalisierten Alltags.

Die von ZEISS SMT entwickelten Technologien und Lösungen tragen dazu bei, Mikrochips kleiner, leistungsfähiger und energieeffizienter zu machen. Verbaut in Elektronikprodukten tragen sie zum weltweiten Fortschritt bei – im Technologiesektor ebenso wie in der Elektronik-, Kommunikations-, Unterhaltungs- und Automobilindustrie oder der Energiewirtschaft.
Mit unseren drei Geschäftsbereichen decken wir ein umfangreiches Produktportfolio für die Kernbereiche Halbleiterfertigungs-Optiken, Photomasken-Systeme und Prozesskontroll-Lösungen ab.
 

Ob im Kühlschrank, im Auto oder im Smartphone – in all diesen Geräten steckt Technologie von ZEISS SMT. Rund 80 Prozent aller Mikrochips weltweit werden mit Lithographie-Optiken von ZEISS SMT hergestellt. Bei Highend-Chips, etwa für Anwendungen der künstlichen Intelligenz, sind es 100 Prozent Marktanteil. Dafür forschen und arbeiten wir kontinuierlich am nächsten Technologiesprung und haben mit der neuesten High-NA-EUV-Lithographie die nächste Ausbaustufe für noch leistungsfähigere und effizientere Mikrochips der Zukunft realisiert. So viel Hightech braucht Teamwork. Deshalb arbeiten wir mit einem starken Netzwerk aus mehr als 1.200 Partnern zusammen. Einen wichtigen Beitrag leistet unser strategischer Partner ASML in den Niederlanden, indem er unsere ZEISS Technologien in seine Lösungen integriert.

ZEISS SMT ist eine von vier Sparten der ZEISS Gruppe, einem der weltweit führenden Technologieunternehmen mit einer langen Geschichte in der optischen und optoelektronischen Industrie. Zur ZEISS Gruppe gehören weiterhin die Sparten Industrial Quality & Research, Medical Technology und Consumer Markets. Die Lieferung des ersten ZEISS Objektivs für einen Schaltkreisdrucker (Vorläufer von Wafersteppern- und -scannern) im Jahr 1968 gilt als Gründung von ZEISS SMT. Der Hauptsitz von ZEISS SMT ist Oberkochen. Weitere deutsche Standorte sind Aachen, Jena, Roßdorf und Wetzlar. In den USA hat die ZEISS SMT Niederlassungen in Dublin und Danvers sowie eine Vertretung in Bar Lev in Israel. Hinzu kommen unsere Vertriebs- und Servicegesellschaften (SSCs) in den USA, Südkorea, Japan, Taiwan und China.

Die ZEISS Halbleitersparte setzt sich aus drei strategischen Geschäftsbereichen (Strategic Business Unit, SBU) zusammen. Diese decken wichtige Kernprozesse bei der Mikrochip-Herstellung ab: Der Bereich Semiconductor Manufacturing Optics (SMO) entwickelt und produziert Halbleiterfertigungs-Optiken, darunter Lithographie-Optiken für DUV-, EUV- und High-NA-EUV-Technologien sowie optische Module und Synchrotron-Optiken. Mit den Lösungen des Bereichs Semiconductor Mask Solutions (SMS) profitieren Halbleiterkunden von fehlerfreien Photomasken in höchster Qualität. Zum Portfolio gehören zudem Lösungen für die Vermessung, Inspektion und Reparatur von Photomasken. Der Bereich Process Control Solutions (PCS) ermöglicht mit Produkten wie der 3D-Metrologie-und-Inspektion-Workstation und ZEISS MultiSEM die präzise Prozesskontrolle und Fehleranalyse für die schnellere und effizientere Fertigung von Halbleiterbauelementen.
Weitere Informationen zu ZEISS SMT und der gesamten ZEISS Gruppe finden Sie auch im aktuellen ZEISS Geschäftsbericht.